目前，世界上只有一家能生产 EUV 光刻机的公司，那就是荷兰光刻巨头 ASML(中国名字是 Asmah)。事实上，作为一家外国公司，ASML 在中国市场已经有 30 多年的历史了，可以说是有很深的起源。

不过，由于业务以外的原因，ASML 无法将 EUV 光刻机出口到中国大陆市场，尽管它实际上很乐意自己出口 EUV 光刻机。

它的始作俑者是美国。

ASML 的起源与中国市场

中国大陆市场一直是 ASML 在世界上最重要的市场之一。

例如，在 2020 年，ASML 在第二季度共销售了 61 台光刻机（包括新设备和二手设备），在第三季度售出了 60 台，其中超过 24 台销往中国大陆。

ASML 全球副总裁兼中国总裁沈波表示，在 2020 年第二和第三季度，该公司向中国大陆地区输送了超过 20% 的光刻机。

当然，这些销往中国大陆的光刻机不包括 EUV 设备。

沈波回应道：

ASML 必须在符合法律法规规定的情况下出口光刻机。然而，我们非常愿意向中国出口光刻机，我们对世界各地的客户一视同仁，只要我们能够提供技术和设备，我们将给予全力支持。

可以看出，如果排除外部因素的干扰，ASML 本身就非常真诚地与中国合作。

雷锋了解到 ASML 成立于 1984 年，当时仍有多家公司生产光刻机，ASML 排在最后。然而，在短短两年的时间里，ASML 开发了一台名为 PAS2500 的晶圆步进光刻机，可以生产超大规模集成电路（VLSI) 芯片，使 ASML 在市场上占有一席之地，并有一定的声誉。

值得一提的是，早在 1988 年 ASML 进入亚洲时，它就向中国大陆出售了第一台设备。

经过三十多年的深入耕耘，ASML 已在中国大陆销售了 700 多台光刻机，涵盖了 ASML 的大部分产品（EUV 设备除外）。

不仅如此，ASML 在 2000 年在天津设立分公司的基础上，目前在中国拥有 12 个办事处、11 个仓储和物流中心以及 2 个技术开发中心（深圳和北京，从事计算光刻、测量等），拥有 1000 多名员工。

此外，ASML 还在中国建立了一个培训中心，以培养光刻行业的人才。

正如沈波所说，ASML 在遵守法律法规的同时，全力支持客户和中国集成电路产业的发展，ASML 与中国集成电路产业在各个阶段都有着良好的合作。

他还说，ASML 在中国的整体状况越来越好，其服务将更加多样化，今后在中国的投资将越来越多。

EUV 光刻机出口中国大陆失败的根本原因

作为世界上最大的光刻企业，ASML 享受着 EUV 光刻技术所带来的商业发展便利，但同时也承受着大国竞争和冲突的沉重政治枷锁。

在一个典型的例子中，EUV 光刻机无法出口到中国大陆。

EUV 光刻机是目前发展过程中的第五代光刻机。由于使用了极端紫外光，其最小的工业节点为 22 nm≤7nm，可以说是世界上最先进的光刻机设备，只能生产 ASML。

在 EUV 技术的研究和发展水平上，ASML 也经历了徒步旅行的过程。

事实上，ASML 自 1999 年以来一直致力于 EUV 光刻，最初计划在 2004 年推出该产品，但直到 2010 年才开发出第一个 EUV 原型，直到 2016 年才有下游客户 -- 甚至在 2019 年，第一批 7 nmEUV 工艺的芯片也在商业化。

然而，在美国主导的瓦塞纳尔协议（Wassenaararrangement) 的影响下，这种高端设备的出口受到严格限制，直到 2018 年才出现好转。

2018 年 4 月，中芯国际从 ASML 订购了一台价值 1.2 亿美元的 EUV 光刻机，预计将于 2019 年年初交付 -- 据报道，ASML 对全球客户（包括中国客户）的待遇是平等的，向中国出售 EUV 光刻机并不违反 "瓦塞纳尔协议"(Wassenaar Agreement)。

当时，荷兰政府确实向 ASML 发放了出口许可证。

然而，有一些遗漏，交易从一开始就被阻止。据知情人士称，美国立即瞄准了这笔交易 -- 在未来几个月里，美国官员至少与荷兰官员会晤了 4 次，讨论该交易是否可能被直接阻止。

然而，更糟糕的是，2018 年 12 月 1 日，ASML 部件供应商 Prodrive 的一家工厂再次发生重大火灾。当时，ASML 公开表示，预计 2019 年初的装运将推迟。

与此同时，美国政府继续为这项协议努力。

2019 年元旦前后，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆相互讨论了协议的“安全风险”；随后，2019 年 6 月，美国国务卿庞贝奥访问荷兰，再次向荷兰政府施压，要求荷兰政府停止协议。

值得一提的是，2019 年 6 月 30 日，荷兰政府颁发给 ASML 的出口许可证到期。

2019 年 7 月，荷兰首相马克·鲁特访问美国，白宫高级官员向他展示了一份关于所谓“中国收购光刻机可能产生的后果”的情报报告。访问后不久，荷兰政府决定不更新许可证 - 从那时起，ASML 就没有出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。在中国大陆的 EUV 光刻机出口到中国大陆后，ASML 的官方说法是，该公司仍在等待新许可证申请的批准。针对媒体对美国施压的报道，荷兰外交部在 2020 年 1 月 15 日也表示：在决定是否发放出口许可证时，荷兰政府应权衡其经济和安全利益。

结果，ASML 向中国市场出售 EUV 光刻机的计划被搁置。

2020 年，随着美国对中国半导体产业的打压，中国人对光刻越来越重视，ASML 也受到关注。但真正能把 EUV 光刻机卖给中国大陆的并不是 ASML。可以肯定的是，ASML 一直非常积极地向中国大陆市场销售平版印刷品。根据 ASML 中国区总裁沈波的最新声明，ASML 已向荷兰政府提交了出口 EUV 光刻机的申请，目前仍在等待荷兰政府的出口许可证。

荷兰政府仍在等待美国政府的态度。

当然，美国政府的态度也存在不确定性。特朗普目前肯定不愿意考虑这个问题。恐怕一切都要等到明年美国新政府上任。